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NTIS 바로가기한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집, 2016 Feb. 17, 2016년, pp.162 - 162
Jang, Jin-Nyeong (고려대학교 디스플레이.반도체물리학과) , Jang, Yun-Seong (고려대학교 디스플레이.반도체물리학과) , Yun, Jang-Won (고려대학교 디스플레이.반도체물리학과) , Lee, Seung-Jun (고려대학교 광전자신소재연구소) , Hong, Mun-Pyo (고려대학교 디스플레이.반도체물리학과)
We present multifunctional indium tin oxide (ITO) thin films formed at room temperature by a normal sputtering system equipped with a plasma limiter which effectively blocks the bombardment of energetic negative oxygen ions (NOIs). The ITO thin film possesses not only low resistivity but also high g...
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