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제안 방법
- 한다. 따라서 개발된 면저항 측정기의 성능평가률 위해 국가측정표준으로부터 저항의 소급성이 유지된 분할저항기 (decade resistor, model: ESI DB62, 불홖도: 0.005 %)룔 사용하여 저항(R)기능을 평가하였다. 반복성, 안정도 및 재현성, 평가는 면저항측정기 p「아)e의 4단자와 분할저항기의 4단자에 연결한 후 측정을 반복하여 특성을 확인하였으며, 그 결과 이하의 정확도를 나타냈다.
- 반복성, 안정도 및 재현성, 평가는 면저항측정기 p「아)e의 4단자와 분할저항기의 4단자에 연결한 후 측정을 반복하여 특성을 확인하였으며, 그 결과 이하의 정확도를 나타냈다. 또한 측정 정확도는 국가 측정표준의 소급성이 유지된 면저항 표준기준물을 이용하여.특성을 확인하였으며帰 그 결과 0.
- 것으로 알려져 있다. 또한 해우 고가여서 경제적인 부담과 축정기에 문제가 발생한 경우 신속한 대응이 어려우므로 외산에 비해 저렴하고 동등 이상의 성능을 갖는 면저항 측정기의 국산화 *발아 절실히 요구된다, 따라서 누구나 쉽고 정확하게 사용 할 수 있는 dual configuration 기술을 적용한 면저항 측정기詈 개발하였다.
- 박막재료의 면저항율 누구나 쉽고 정확하게 측정할 수 있는 면저항 측정기를 개발하였다. 측정기능은 저항(R), 면저항(Q/sq) 비저항(Q心)이며 면저항의 츢정범위는 1 mQ/sq.
- 측정기의 전류원은 10 nA, 100 nA, 1 10 虬 100 以, 1 澈, 10 mA, 100 mA 이며, 측정 전압은 10 mV 〜100 mV 범위에서 흑정되도록 하였다. 측정기능믄 저항(R), 면저항(Q/않q.
이론/모형
- Four-Point 円아圮법의 원리를 바탕으로 sin이e 및 dual configuration 기술을 적용하여 설계 제작하였다. 측정기의 전류원은 10 nA, 100 nA, 1 10 虬 100 以, 1 澈, 10 mA, 100 mA 이며, 측정 전압은 10 mV 〜100 mV 범위에서 흑정되도록 하였다.
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