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화학 동도금을 이용한 캐리어 극박 동박 표면 특성 평가에 관한 연구
An evaluation method on the surface characteristics of ultra-thin copper foil using chemical copper plating 원문보기

한국표면공학회 2014년도 추계학술대회 논문집, 2014 Nov. 20, 2014년, pp.129 - 129  

허진영 (한국생산기술연구원 표면처리연구실용화그룹 소재분석센터) ,  이홍기 (한국생산기술연구원 표면처리연구실용화그룹 소재분석센터) ,  구석본 (한국생산기술연구원 표면처리연구실용화그룹 소재분석센터) ,  전준미 (한국생산기술연구원 표면처리연구실용화그룹 소재분석센터) ,  김익범 ((주)와이엠티)

초록
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본 연구는 알루미늄 및 구리 캐리어 소재상에 화학 동도금(Chemical Copper)으로 형성된 극박 동박 표면 및 석출막의 특성 평가에 관한 연구이다. 평가에 사용된 극박 동박은 현재 캐리어박 선점률이 높은 M, J, Y사의 제품이다. 최상층 구리 표면에서 조직, 조성, 표면조도를 평가하였고, 단면 평가에서는 copper layer 및 nodule layer, adhesion layer, anti-corrosion layer, release layer, substrate에서의 물성 및 특성을 평가하였다.

AI 본문요약
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제안 방법

  • 본 연구 평가에 사용된 극박동박은 현재 캐리어박 선점률이 높은 국외 M사와 J사, 국내 Y사의 제품을 대상으로 하였으며, 표면과 단면에 대한 물성 및 특성을 평가하였다. 표면조직(morphology) 및 조도, 두께, 결정구조(crystal structure), 결정크기(crystallite size), 잔류응력(residual stress) 등을 기본적으로 평가하였으며, 특히 Cu nodule층 및 silane coupling agent 층에 대한 분석과 각 층간 극박층으로 존재하는 adhesion층, 녹방지를 위한 anti corrosion층 및 release 이형층에 대하여 평가하였다. Fig.

대상 데이터

  • 본 연구 평가에 사용된 극박동박은 현재 캐리어박 선점률이 높은 국외 M사와 J사, 국내 Y사의 제품을 대상으로 하였으며, 표면과 단면에 대한 물성 및 특성을 평가하였다. 표면조직(morphology) 및 조도, 두께, 결정구조(crystal structure), 결정크기(crystallite size), 잔류응력(residual stress) 등을 기본적으로 평가하였으며, 특히 Cu nodule층 및 silane coupling agent 층에 대한 분석과 각 층간 극박층으로 존재하는 adhesion층, 녹방지를 위한 anti corrosion층 및 release 이형층에 대하여 평가하였다.
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