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[국내논문] 음극 진공 아크 증발에 의한 기판 청정
Substrate Cleaning Effect by Cathodic Vacuum Arc Evaporation 원문보기

한국표면공학회 2017년도 춘계학술대회 논문집, 2017 May 25, 2017년, pp.92.1 - 92.1  

권오진 ((주)케이디엘씨) ,  김미선 ((주)케이디엘씨) ,  이정석 ((주)케이디엘씨)

초록
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고경도 질화막 합성과 밀착력 향상을 위한 기판 청정 기술은 밀접한 상관관계가 있다. 음극 진공 아크 증발원을 이용하여 기판 청정을 실시하였으며, 기판 전압이 증가함에 따라 기판 청정 효과가 증가하였으나, 그 역효과 또한 확인할 수 있었다. 특히 기판 전압 인가부의 전극 접촉부 위치에 따라 청정 형상이 크게 영향을 받음을 확인하였다. 기판 청정 후 고경도 질화막을 형성시켜 100N 이상의 밀착력 확인하였다.

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