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제안 방법
- 이 연구에서 우리는 2개의 다른 주파수를 가진 spiral 형태의 안테나를 사용하였다. 안테나의 안쪽과 바깥쪽에는 각각 2MHz와 13.56MHz를 인가하였고, 이때 방전된 플라즈마의 특성분석을 위해 Langmuir probe를 사용하였다. 플라즈마 방전 시 공정 압력은 10mTorr를 유지 하였고, 2MHz의 경우에는 0 ~ 800W, 13.
대상 데이터
- 이 연구에서 우리는 2개의 다른 주파수를 가진 spiral 형태의 안테나를 사용하였다. 안테나의 안쪽과 바깥쪽에는 각각 2MHz와 13.
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