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Filtered Vacuum Arc를 이용한 WC-Co상 DLC 박막 증착에서의 기판 전압에 따른 밀착력 특성 평가
Adhesion of Diamond-like Carbon Thin Film Prepared by Filtered Vacuum Arc: The Effect of Substrate Bias Voltage 원문보기

한국표면공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집, 2013 May 30, 2013년, pp.214 - 214  

김기택 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ,  양원균 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ,  이승훈 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ,  김도근 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ,  김종국 (한국기계연구원 부설 재료연구소)

초록
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Diamond like carbon(DLC) 박막은 고경도, 저마찰, 내스크래치 특성을 요구하는 표면기술 응용분야에 널리 사용되며, 대면적 저가 코팅 방법 개발 및 물성 조절 기술이 요구된다. 본 연구에서는 Filtered Vacuum Arc (FVA)를 통해 증착되는 Hydrogen-free DLC 박막의 밀착력 제어를 위한 증착시 기판 전압에 따른 증착 및 밀착력 특성을 분석하였다. 기판전압이 0~-150 V 까지 변화함에 따른 스크래치 테스트 결과를 통해 최적 증착 조건을 도출하였다.

AI 본문요약
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제안 방법

  • DLC 박막을 50 GPa 이상의 고경도를 요구하는 분야에 적용하기 위해서는 Hydrogen-free DLC 박막을 코팅할 수 있는 기술이 요구되며, 재료연구소는 Hydrogen-free DLC 박막을 증착하기 위해 FVA 공정을 연구하고 있다. 본 연구에서는 FVA를 이용한 WC-Co상 DLC 박막 증착시, 기판 전압에 따른 증착 박막의 밀착력 특성을 분석하였다.
  • 본 연구에서는 FVA에 Graphite 음극을 장착하여, 아크 플라즈마를 발생시켰다. 이때 발생된 C 이온들은 자기 필터를 통해 기판으로 수송되며, 이때 기판에 인가되는 전압에 의해 증착되는 DLC 박막의 물성을 변화시켰다.
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