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완전화 박막 구현을 위한 빗각 및 스침각 증착 기술
Oblique and glancing angle deposition for the realization of perfect-like film 원문보기

한국표면공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집, 2013 May 30, 2013년, pp.61 - 61  

정재인 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부) ,  양지훈 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부) ,  박혜선 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부) ,  정재훈 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부) ,  송민아 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부)

초록
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진공증착으로 제조된 박막은 주상정 조직으로 성장하여 박막 내에 기공을 포함하는 것이 일반적이다. 박막의 조직변화를 통한 특성 향상은 박막을 치밀하게 제조하거나 자연 산화막 등과 같이 원하는 형상의 조직을 형성하는 것이며 이를 위해 완전화 박막이라는 개념이 등장하였다. 본 논문에서는 완전화 박막의 제조를 위한 빗각 및 스침각 증착 기술을 소개하고 금속 및 화합물 박막의 빗각 증착 사례를 소개하고자 한다.

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문제 정의

  • GLAD는 기본적으로OAD 방법을 이용하되 증기의 입사 각도를 70도 이상으로 크게 함과 동시에 기판을 회전시켜 다양한 구조의 박막을 제조하는 방법이다. 본 논문에서는 OAD 방법을 이용하여 Al과 TiN 박막을 제조하고 그 특성을 비교하였다.
  • 빗각 및 스침각 증착을 이용하여 Al과 TiN 박막을 제조하고 완전화 박막을 위한 가능성을 검토하였다. Al 박막의 경우 빗각 증착에 의해 내식성이 크게 향상되었고, TiN 박막의 경우 빗각 및 바이어스 전압의 조정에 의해 경도 차이는 줄이고 modulus를 낮춤에 의해 신뢰성 지수를 높일 수 있음을 확인하였다.
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