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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2012-0157599 (2012-12-28) | |
공개번호 | 10-2014-0087394 (2014-07-09) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120157599 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 빗각 코팅층 형성방법 및 빗각 증착 장치에 관한 것으로, 진공 용기; 상기 진공 용기 내에 설치되는 기판 홀더; 및 상기 진공 용기에는 구비되어 진공 증착을 구현하는 진공 증착 소스를 포함하되, 상기 기판 홀더가 제1 회전축에 의해 연결되는 제1 회전 기어와, 상기 제1 회전 기어와 기어결합하는 제2 회전 기어를 포함하며, 상기 제1 회전 기어와 제2 회전 기어에 의해 상기 기판 홀더가 수직면상에서 회전하도록 하는 기판 홀더 회전 장치를 포함하는 빗각 증착 장치 및 이에 의해 빗각 코팅층을 형성하는 방법이 개시된다.
기판을 세척하는 단계;상기 세척된 기판을 진공 장비에 장착하고, 상기 진공 장비 내부를 진공시키는 단계;상기 기판을 청정시키는 단계;상기 기판에 빗각으로 빗각 코팅층을 형성하는 단계를 포함하되,상기 빗각 코팅층은 음극아크 증착 또는 마그네트론 스퍼터링에 의해 형성되되, 상기 빗각 코팅층 형성시 기판 회전이 가능한 장치를 이용하여 다층 또는 구조가 제어된 빗각 코팅층 형성방법.
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