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문제 정의
- 그러나 현재 4원계 이상의 코팅을 형성하는 방법에는 두 가지 이상의 소스를 이용하여 증작하는 방법이 많이 사용되고 있지만 신뢰성 및 양산성이 힘든 문제점을 가지고 있다. 이와 같은 문제를 해결하기 본 연구에서는 기계적 합금화법을 통해 합금분말을 형성하여 단일 합금타겟을 조자하는 연구를 진행하였다. 단일 합금타겟은 기존 멀티타겟의 단점인 공정제어의 복잡함을 줄이고 신뢰성을 형성하는 코팅이 가능하다.
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