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제안 방법
- 그리고 소수성 박막을 코팅하였을 때에는 필름의 조도가 중요하게 여겨지고 있다. 이 연구에서는 소수성박막을 PECVD를 이용하여 기판에 코팅을 하였으며, 필름의 조도를 알아보기 위해 AFM을 이용한 분석을 하였다.
대상 데이터
- 본 연구에서는 플라즈마를 이용한 화학증착공정 (Fig 1)을 이용하였고, Table 1에는 이 공정에서의 변수를 나타냈다. 공정을 하는데 있어서 초기압력은 <0.
이론/모형
- 표면의 에너지를 분석하기 위해서 Water contact angle measurement를 사용하였으며, 표면의 화학적 결합을 알아보기 위하여 FT-IR을 이용하였고, 표면 조도를 분석하기 위해 AFM을 이용하였다. 그 결과, 가해주는 전력이 커질수록 표면 조도가 더 거칠어지는 것을 확인할 수 있었으며, 140 W에서는 매우 거칠어지는 것을 보았다.
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