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NTIS 바로가기Semiconductor Technology International Conference (CSTIC), 2018 China, 2018 Mar, 2018년, pp.1 - 3
Matsumoto, Hiroshi (NuFlare Technology, Inc., 8-1 Shinsugita, Isogo, Yokohama, Kanagawa 235-8522, Japan) , Inoue, Hideo (NuFlare Technology, Inc., 8-1 Shinsugita, Isogo, Yokohama, Kanagawa 235-8522, Japan) , Yamashita, Hiroshi (NuFlare Technology, Inc., 8-1 Shinsugita, Isogo, Yokohama, Kanagawa 235-8522, Japan) , Otoshi, Kenji (NuFlare Technology, Inc., 8-1 Shinsugita, Isogo, Yokohama, Kanagawa 235-8522, Japan)
Multi-beam mask writer MBM-1000 has been developed for N5. It is designed to accomplish high resolution with 10 nm beam and high throughput with 300 Gbps blanking aperture array (BAA) and inline real-time data path. It is equipped with function of pixel level dose correction (PLDC) to improve patter...
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