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문제 정의
- 본 논문은 사용 용도가 증가하고 있는 초미세 범프의 불량을 검사하기 위하여 초미세 범프의 특징을 분석하고, 사용가능한 광학계를 조사하였다. 또한 광학계로 획득한 영상을 재구성하고 재구성 된 영상에서 빠르고 정확하게 불량 여부를 찾아 낼 수 있는 측정 시스템을 제안한다.
- 본 논문은 사용 용도가 증가하고 있는 초미세 범프의 불량을 검사하기 위하여 초미세 범프의 특징을 분석하고, 사용가능한 광학계를 조사하였다. 또한 광학계로 획득한 영상을 재구성하고 재구성 된 영상에서 빠르고 정확하게 불량 여부를 찾아 낼 수 있는 측정 시스템을 제안한다.
- 본 논문은 초미세 범프측정을 할 수 있는 시스템 개발을 위한 측정 대상의 특징과 사용할 수 있는 광학계를 분석하였고, 획득된 영상을 가지고 딥러닝을 적용하여 정확하게 불량여부를 판별할 수 있는 초미세 범프 측정 시스템을 고안하였다. 현재 제안한 시스템을 가지고 실제로 동작하는 측정 프로토타입을 개발하는 중이다.
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