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[국내논문] 정밀 FAB.에서의 원격 진동 모니터링 시스템 설계
A Design of Remote Vibration Monitoring System for Precision FAB. 원문보기

한국소음진동공학회 2012년도 추계학술대회 논문집, 2012 Oct. 25, 2012년, pp.506 - 507  

이규섭 (RMS 테크놀러지(주)) ,  안채헌 (한국생산기술연구원) ,  이현준 (RMS 테크놀러지(주)) ,  라현흠 (RMS 테크놀러지(주))

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제안 방법

  • 또한, Fab. 내부의 광범위한 진동 모니터링을 통해 진동 전파 경로 등을 분석할 수 있으며 DAQ 보드를 이용한 서버 인증 방식으로 효과적인 진동 모니터링 시스템을 제공한다.
  • 그래서, 과도 진동응답의 이벤트가 일어나는 시점만을 저장하는 방식을 고려할수 있지만 이러한 방식은 측정 후, 저장된 데이터의 양이 제한되기 때문에 향후 정밀 분석이 어렵다. 따라서, 본 논문에서는 타임 도메인 영역에서 들어온 데이터는 시스템의 지정한 시간영역 내에서 FFT를 통해 주파수 영역의 데이터로 변환을 하여 버퍼에 저장하고, 과도 진동이 일어난 시점의 이전 데이터와 이후 데이터를 함께 데이터 베이스에 저장한다. 데이터 스키마는 Table 1 과 같다.
  • 본 논문에서 제안하는 시스템은 Fig. 3과 같이 DAQ(data acquisition) 보드를 이용한다. 측정된 데이터를 분석하여 저장해 주는 DSA의 기능을 DAQ 보드가 설치된 산업용 PC로 대체하여 센서로부터 직접 값을 받아 신호처리를 수행한다.
  • 계측 장비는 동적 신호 분석기 (dynamic signal analyzer)를 이용한다. 수집된 데이터는 신호 처리 과정을 거쳐서 시간 도메인 및 주파수 도메인에서 그 크기와 주파수를 분석하게 된다.
  • 3과 같이 DAQ(data acquisition) 보드를 이용한다. 측정된 데이터를 분석하여 저장해 주는 DSA의 기능을 DAQ 보드가 설치된 산업용 PC로 대체하여 센서로부터 직접 값을 받아 신호처리를 수행한다.
  • 따라서 본 논문에서는 Fab. 환경에 진동 측정장치를 설치하고, 네트워크를 통한 원격 데이터 수집 및 데이터 베이스를 이용한 통계적 자료 분석 방법을 제시하였다.
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