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제안 방법
- 4, 6 인치 웨이퍼의 CMP 를 위한 소구경 웨이퍼용 멤브레인 헤드를 개발하였다. 웨이퍼 가압기구는 탄성 멤브레인을 이용하였고 리테이너 링으로 웨이퍼를 지지하는 형태의 헤드를 제작하여 리테이너링의 형상 및 가압특성에 따른 연마특성을 평가하였다.
- 리테이너링의 폭에 따른 4 인치 및 6 인치 웨이퍼의 연마특성을 평가하였다. Fig.
- 2 참조), 가공 중 웨이퍼 지지특성, 가장자리 연마특성, 연마균일도 특성 등을 평가하기 위하여 리테이너 링의 가압면적(B)과 수압면적(A)의 폭을 조절하여 실험하였다. 신규 헤드의 연마성능을 확인하기 위하여 4 인치 및 6 인치 산화막 웨이퍼를 이용하여 연마율과 연마균일도 및 웨이퍼 에지 부근의 연마특성을 평가하였다. 실험에 사용된 소모품은 Table 1 에 표시된 바와 같다.
- 실험에 사용된 장비는 지앤피테크놀로지사의 POLI-400L 을 이용하였다. 실험에 사용된 헤드에는 웨이퍼 가압부분이 탄성체로 구성되어 있으며 (Fig. 2 참조), 가공 중 웨이퍼 지지특성, 가장자리 연마특성, 연마균일도 특성 등을 평가하기 위하여 리테이너 링의 가압면적(B)과 수압면적(A)의 폭을 조절하여 실험하였다. 신규 헤드의 연마성능을 확인하기 위하여 4 인치 및 6 인치 산화막 웨이퍼를 이용하여 연마율과 연마균일도 및 웨이퍼 에지 부근의 연마특성을 평가하였다.
- 5 에 나타내었다. 실험은 head/table= 63 / 57 rpm 조건에서 수행하였으며, 슬러리의 유량은 펌프속도 100rpm 에 고정한 상태에서 웨이퍼 압력과 리테이너 링의 압력비만을 변경하면서 수행하였다.
- 4, 6 인치 웨이퍼의 CMP 를 위한 소구경 웨이퍼용 멤브레인 헤드를 개발하였다. 웨이퍼 가압기구는 탄성 멤브레인을 이용하였고 리테이너 링으로 웨이퍼를 지지하는 형태의 헤드를 제작하여 리테이너링의 형상 및 가압특성에 따른 연마특성을 평가하였다. 실험결과 리테이너 링의 폭이 증가하여 리테이닝 하중이 증가하는 경우 동일 리테이너링 압력에서 연마균일도와 공정 중 웨이퍼의 빠짐현상이 개선되었고, 낮은 연마압력에서 리테이너링의 압력을 증가시키는 경우 전체 웨이퍼 연마율을 감소시키나 높은 연마압력에서는 연마율을 증가시키는 역할을 하였다.
대상 데이터
- 실험에 사용된 장비는 지앤피테크놀로지사의 POLI-400L 을 이용하였다. 실험에 사용된 헤드에는 웨이퍼 가압부분이 탄성체로 구성되어 있으며 (Fig.
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