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문제 정의
- 본 논문에서는 상하판간 정렬 불량을 일으키는 축적 전하량(Q)을 감소시키기 위해서 ESC 에 인가되는 전압을 조절해 보았다.
- 본 논문에서는 저가의 소다라임 유리(soda lime glass, SLG)를 사용한 플라스틱 LCD 제조공정을 진행하면서 상하판 합착 과정에서 발생한 정렬불량의 원인을 분석한 후 대안을 제시하였다.
- 본 논문에서는 플라스틱 LCD 제조 공정 중에 발생한 정렬불량을 해결하기 위해 전하량 조절기법을 도입하였다. 인가되는 전압에 따라 기판에 축적되는 전하량이 감소되고 기판이 서로 밀어내는 힘이 작아져 정렬수준이 향상되었다.
가설 설정
- 미끄러짐의 정도는 ESC 의 흡착력에 따라 달라지며 그 흡착력은 물질의 유전율, 인가되는 전압의 세기, 주변환경의 진공도에 따라 달라진다.[4] LCD glass 와 SLG 의 흡착력은 ESC 와 유리기판 표면에 축적되는 전하량에 따라 달라진다. 축적되는 전하량(Q)은 식(1)과 같이 커패시턴스와 전압의 곱으로 구할 수 있다.
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