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NTIS 바로가기국가/구분 | 일본특허청(JP) 공개특허 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | JP-0319963 (2006-11-28) |
공개번호 | JP-0134130 (2008-06-12) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a miniaturized probe having a very few number of parts and capable of functioning as a probe without having to use a spring and provide a probe card for wafer inspection using the same.SOLUTION: A cylindrical probe pin is inserted in a sleeve having both an opening p
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