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NTIS 바로가기국가/구분 | 일본특허청(JP) 공개특허 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | JP-0190487 (2016-09-29) |
공개번호 | JP-0069564 (2017-04-06) |
우선권정보 | US-2015235352(2015-09-30); US-2016276260(2016-09-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a modular system layout utilizing three dimensions.SOLUTION: A semiconductor processing system may be provided that includes a first plurality of semiconductor processing tools with a first average wafer transfer plane and a second plurality of semiconductor processi
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