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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-1984-0007241 (1984-11-19) |
공개번호 | 10-1985-0003991 (1985-06-29) |
공고번호 | 10-0049182-0000 (1991-09-24) |
등록번호 | 10-0049182-0000 (1992-02-19) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019840007241 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (1989-11-18) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
[목적]양성 포토레시스트시스템,특히 높은 열안정성,광범위한 노출광선파장에 걸친 해상도 및 기질상에 영상을 만드 는데 유용한 기타 성질등을 가진 양성 포토레지스트시스템을 제공하는 것이다[구성]수성 스피닝 용매내에 용해된,(메트)아크릴산의 에스페르로부터 형성되며 다음 구조식의 글루타르이미드 단위를 5중량% 이상 함유하는 예비형성된 비교차결합성 폴리글루타르이미드 중합체를 포함하여 구성되며 수성용액으로 현상가능한 양성 포토레지스트로 구성된다.[효과]광범위한 노출방사선 특히 전자외선 파장스펙트럼에 걸쳐서 뛰어난 투명도를 가지는 양성포토레지스
(메트) 아크릴산(meth acrylic acid)의 에스테르로부터 형성되고, 다음 구조식을 갖는 최소 5중량%의 그루타리미드는,여기서 R1, R2는 R3는 각각 수소 혹은 치환된 혹은 치환되지 않은 알킬, 아릴, 아릴키(aralky) 혹은 1-20개의 탄소원자를 갖는 알카릴(alkaryl) 탄화수소이며, R3 치환기의 최소 20중량%는 비수성 스핀닝용제(spinning solvent)내의 용해된 수소이며 포토레지스트는 수용액으로 현상가능한 것이다. 미리형성된 가교 결합되지 않은 포리그루타리미드 중합체를 포함하는 것을 특징으로하는
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