초록 ▼

[목적]엑스레이를 발진시키는 플라즈머를 생성시키기에 충분한 출력으로 펄스가 가해진 레이저 빔을 조사시켜 엑스레이를 발진시키는데 사용되는 표적에 관한 것이다.[구성]엑스레이 발진 플라즈마(20)를 생성시키기에 충분한 출력을 가지는 레이저 빔 펄스(12 또는 104)를 표적(18,44,56,66,76,102)에 집중투사시켜 엑스레이(22)를 발진시키는 엑스레이 석판인쇄장치(10 또는 100)로서,엑스레이 패턴으로 하여금 기충(28 또는 112)에 절연체 단층(26)을 노출시키도록 하기 위하여 마스크-기층 결합장치(24,28 또는 110

[목적]엑스레이를 발진시키는 플라즈머를 생성시키기에 충분한 출력으로 펄스가 가해진 레이저 빔을 조사시켜 엑스레이를 발진시키는데 사용되는 표적에 관한 것이다.[구성]엑스레이 발진 플라즈마(20)를 생성시키기에 충분한 출력을 가지는 레이저 빔 펄스(12 또는 104)를 표적(18,44,56,66,76,102)에 집중투사시켜 엑스레이(22)를 발진시키는 엑스레이 석판인쇄장치(10 또는 100)로서,엑스레이 패턴으로 하여금 기충(28 또는 112)에 절연체 단층(26)을 노출시키도록 하기 위하여 마스크-기층 결합장치(24,28 또는 110,112)에 발진된 엑스레이(22)를 투사하는 것,지지장치(44,58,68 또는 84) 및 동 지지장치에 의하여 지지되는 0.1-20미크론 두께의 금속단층으로 형성되는 얇은 표적물질의 박판(60,72 또는 88)을 특징으로 하는 표적(18,44,56,76 또는 102),레이저 펄스(12 또는 104) 집중지점에서는 표적물질(60,72 또는 88)의 전체단층이 레이저 펄스 조사시간 동안에 모두 삭마될 수 있는 두께로 표적물질 판(60,72 또는 88)을 형성한 것을 특징으로 하는 엑스레이 석판인쇄 장치이다.[효과]엑스레이 석판인쇄기를 대체하지 않고서도 여러번 사용하기 위해서 레이저 펄스로 삭마되는 분량과 대체로 같은 두께로 표적을 형성하고 플라즈머 생성으로 인한 분리물질량을 최소화 하기 위한 시스템이 장착된 표적을 제공한다.

대표청구항 ▼

엑스레이 발진 플러즈머(20)를 생성시키기에 충분한 출력을 가지는 레이저 빔 펄스(12 또는 104)를 표적(18,44,56,66,76 또는 102)에 집중투사시켜 엑스레이(22)를 발진시키는 엑스레이 석판인쇄장치(10 또는 100)으로서, 엑스레이 패턴으로 하여금 기층(28 또는 112)에 절연체단층(26)을 노출시키도록 하기 위하여 마스크-기층 결합장치(24,28 또는 110,112)에 발진된 엑스레이(22)를 투사하는 것, 지지장치(44,58,68 또는 84) 및 지지장치에 의하여 지지되는 얇은 표적물질의 박판(60,72 또는

엑스레이 발진 플러즈머(20)를 생성시키기에 충분한 출력을 가지는 레이저 빔 펄스(12 또는 104)를 표적(18,44,56,66,76 또는 102)에 집중투사시켜 엑스레이(22)를 발진시키는 엑스레이 석판인쇄장치(10 또는 100)으로서, 엑스레이 패턴으로 하여금 기층(28 또는 112)에 절연체단층(26)을 노출시키도록 하기 위하여 마스크-기층 결합장치(24,28 또는 110,112)에 발진된 엑스레이(22)를 투사하는 것, 지지장치(44,58,68 또는 84) 및 지지장치에 의하여 지지되는 얇은 표적물질의 박판(60,72 또는 88)의 전체단층이 레이저 펄스 조사시간 동안에 모두 삭마될 수 있는 두께로 표적물질 판(60,72 또는 88)을 형성한 것을 특징으로 하는 엑스레이 석판인쇄 장치.