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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2012-7011476 (2012-05-02) |
공개번호 | 10-2012-0095891 (2012-08-29) |
국제출원번호 | PCT/FI2010/050771 (2010-10-04) |
국제공개번호 | WO2011039424 (2011-04-07) |
번역문제출일자 | 2012-05-02 |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020127011476 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
기판에 코팅을 제조하기 위하여, 기판은 타겟 가까이 위치된다. 타겟에 다수의 연속 레이저 펄스를 집속 시킴으로써 타겟으로부터 재료를 냉간 삭마하고, 상기 기판의 방향으로 적어도 부분적으로 이동하는 다수의 연속 플라즈마 전방부를 생성한다. 상기 연속 레이저 펄스간의 시간 차는 매우 짧으므로 다수의 연속 플라즈마 전방부로부터 기인한 구성 성분이, 상기 구성 성분의 평균 에너지가 결정질 구조의 자발적인 형성을 허용하는 핵을 형성한다.
기판에 코팅을 제조하기 위한 방법으로서, - 타겟 가까이 기판을 배치하고,- 타겟에 다수의 연속 레이저 펄스를 집속 시킴으로써 타겟으로부터 재료를 냉간 삭마하고, 상기 기판의 방향으로 적어도 부분적으로 이동하는 다수의 연속 플라즈마 전방부를 생성하는 것을 포함하고, 상기 기판에서 상기 연속 레이저 펄스간의 시간 차는 매우 짧고, 다수의 연속 플라즈마 전방부로부터 기인한 구성 성분은, 상기 구성 성분의 평균 에너지가 결정질 구조의 자발적인 형성을 허용하는 핵을 형성하는 것을 특징으로 하는 코팅 제조 방법.
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