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연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

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레이저 삭마 방법 및 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC9판)
  • C23F-004/04
  • C23C-014/28
  • C23C-014/16
출원번호 10-2012-7011476 (2012-05-02)
공개번호 10-2012-0095891 (2012-08-29)
국제출원번호 PCT/FI2010/050771 (2010-10-04)
국제공개번호 WO2011039424 (2011-04-07)
번역문제출일자 2012-05-02
DOI http://doi.org/10.8080/1020127011476
발명자 / 주소
  • 라파라이넨 리이조 / 핀란드 에프아이-***** 힐투란라티 하포세나혼티 **
  • 밀리매키 베사 / 핀란드 에프아이-***** 헬싱키 바타쿠자 * 에이 *
  • 해이리넨 주카 / 핀란드 에프아이-***** 헬싱키 피애애티 ** 비
출원인 / 주소
  • 피코데온 리미티드 오와이 / 핀란드 헬싱키 에프아이-***** 부러발디 *에이
대리인 / 주소
  • 박장원
심사진행상태 취하(심사미청구)
법적상태 취하

초록

기판에 코팅을 제조하기 위하여, 기판은 타겟 가까이 위치된다. 타겟에 다수의 연속 레이저 펄스를 집속 시킴으로써 타겟으로부터 재료를 냉간 삭마하고, 상기 기판의 방향으로 적어도 부분적으로 이동하는 다수의 연속 플라즈마 전방부를 생성한다. 상기 연속 레이저 펄스간의 시간 차는 매우 짧으므로 다수의 연속 플라즈마 전방부로부터 기인한 구성 성분이, 상기 구성 성분의 평균 에너지가 결정질 구조의 자발적인 형성을 허용하는 핵을 형성한다.

대표청구항

기판에 코팅을 제조하기 위한 방법으로서, - 타겟 가까이 기판을 배치하고,- 타겟에 다수의 연속 레이저 펄스를 집속 시킴으로써 타겟으로부터 재료를 냉간 삭마하고, 상기 기판의 방향으로 적어도 부분적으로 이동하는 다수의 연속 플라즈마 전방부를 생성하는 것을 포함하고, 상기 기판에서 상기 연속 레이저 펄스간의 시간 차는 매우 짧고, 다수의 연속 플라즈마 전방부로부터 기인한 구성 성분은, 상기 구성 성분의 평균 에너지가 결정질 구조의 자발적인 형성을 허용하는 핵을 형성하는 것을 특징으로 하는 코팅 제조 방법.

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