초록 ▼

본 발명은 다이아몬드 합성용 고온 필라멘트 화학증착장치의 필라멘트 설치방법에 관한 것이다. 본 발명은 고온 필라멘트 화학증착장치의 가동시 탄화나 열팽창에 의해 필 라멘트의 길이 변화가 발생하여 초래되는 필라멘트의 길이변화를 흡수하기 위한 방편으로 전극사이에 설치되는 필라멘트의 양측단부중 적어도 일측의 결합부가 전극에 대해 상대적인 슬라이딩이 가능하도록 필라멘트를 설치하는 방법에 기술적 특징이 있다. 본 발명의 필라멘트 설치방법은 탄화나 열팽창에 의한 필라멘트의 길이변화가 흡수되어 필라멘트에 압축응력을 가하지 않기 때문에 뒤틀림등의

본 발명은 다이아몬드 합성용 고온 필라멘트 화학증착장치의 필라멘트 설치방법에 관한 것이다. 본 발명은 고온 필라멘트 화학증착장치의 가동시 탄화나 열팽창에 의해 필 라멘트의 길이 변화가 발생하여 초래되는 필라멘트의 길이변화를 흡수하기 위한 방편으로 전극사이에 설치되는 필라멘트의 양측단부중 적어도 일측의 결합부가 전극에 대해 상대적인 슬라이딩이 가능하도록 필라멘트를 설치하는 방법에 기술적 특징이 있다. 본 발명의 필라멘트 설치방법은 탄화나 열팽창에 의한 필라멘트의 길이변화가 흡수되어 필라멘트에 압축응력을 가하지 않기 때문에 뒤틀림등의 악영향을 배제할 수 있어 필라멘트의 안정화를 기할 수 있다는 효과가 있다.

대표청구항 ▼

다이아몬드 합성용 고온 필라멘트 화학증착장치의 전극 사이에 필라멘트를 설치하는 방법에 있어서, 전극 사이에 설치되는 필라멘트의 양측단부중 적어도 일측의 전극 접촉부가 전극에 대해 상대적으로 슬라이딩 가능하게 접촉지지되도록 하여 탄화나 열팽창에 의한 필라멘트의 길이변화에 의한 필라멘트의 변형이 방지되도록 함을 특징으로 하는 다이아몬드 합성용 고온 필라멘트 화학증착장치의 필라멘트 설치방법.제1항에 있어서, 전극의 필라멘트 결합부에 필라멘트 와이어의 직경보다 큰 내경의 필라멘트 지지용 구멍을 형성하여 이 필라멘트 지지용 구멍내에 필라멘트

다이아몬드 합성용 고온 필라멘트 화학증착장치의 전극 사이에 필라멘트를 설치하는 방법에 있어서, 전극 사이에 설치되는 필라멘트의 양측단부중 적어도 일측의 전극 접촉부가 전극에 대해 상대적으로 슬라이딩 가능하게 접촉지지되도록 하여 탄화나 열팽창에 의한 필라멘트의 길이변화에 의한 필라멘트의 변형이 방지되도록 함을 특징으로 하는 다이아몬드 합성용 고온 필라멘트 화학증착장치의 필라멘트 설치방법.제1항에 있어서, 전극의 필라멘트 결합부에 필라멘트 와이어의 직경보다 큰 내경의 필라멘트 지지용 구멍을 형성하여 이 필라멘트 지지용 구멍내에 필라멘트의 전극 접촉부가 슬라이딩 가능하게 삽입 지지되도록 함을 특징으로 하는 다이아몬드 합성용 고온 필라멘트 화학증착장치의 필라멘트 설치방법.제1항에 있어서, 전극의 필라멘트 결합부에 필라멘트의 지름에 비해 적은 직경을 갖는 필라멘트 지지용 돌기를 형성하여 필라멘트의 양측단부가 필라멘트 지 지용 돌기의 외측에 끼워지도록 함을 특징으로 하는 다이아몬드 합성용 고온 필라멘트 화학증착장치의 필라멘트 설치방법.제1항에 있어서, 필라멘트의 상부에 위치하는 개스공급관과 필라멘트 사이에 지지구로 연결하여 필라멘트의 고온변형에 의한 처짐을 방지함을 특징으로 하는 다이아몬드 합성용 고온 필라멘트 화학증착장치의 필라멘트 설치 방법.제1항에 있어서, 복수개의 필라멘트의 병렬연결시 간격유지구 설치하여 필 라멘트간의 거리를 일정하게 유지함을 특징으로 하는 다이아몬드 합성용 고온 필라멘트 화학증착장치의 필라멘트 설치방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.