초록 ▼

본 발명은 증착물질이 분사되는 복수의 노즐들을 통한 증착물질의 분사가 균일한 OLED 증착기 소스를 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명에 따른 OLED 증착기 소스는 증착용 기판(S)이 수직으로 로딩되는 증착챔버(10)와, 증착챔버(10) 내부에 설치되어 기판(S)에 대하여 증착물질을 증발하도록 증착물질을 가열하여 증발시키는 하나 이상의 소스(20)를 포함하는 OLED 증착기 소스로서, 상기 증착챔버(100)에 수직으로 로딩된 기판(S)을 향하여 증발된 증착물질을 분사하는 다수의 노즐들(111)이 수직방향으로 간격을 이루어 형성

본 발명은 증착물질이 분사되는 복수의 노즐들을 통한 증착물질의 분사가 균일한 OLED 증착기 소스를 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명에 따른 OLED 증착기 소스는 증착용 기판(S)이 수직으로 로딩되는 증착챔버(10)와, 증착챔버(10) 내부에 설치되어 기판(S)에 대하여 증착물질을 증발하도록 증착물질을 가열하여 증발시키는 하나 이상의 소스(20)를 포함하는 OLED 증착기 소스로서, 상기 증착챔버(100)에 수직으로 로딩된 기판(S)을 향하여 증발된 증착물질을 분사하는 다수의 노즐들(111)이 수직방향으로 간격을 이루어 형성되며 내부에 증착물질의 확산공간(MS)이 형성된 노즐본체(110)와, 히터(130)가 설치되며 상기 히터(130)에 의하여 증착물질을 가열하여 증발시키는 증발용기(120)와, 상기 증발용기(120)에서 증발된 증착물질을 1차로 확산시켜 상기 확산공간(MS)으로 전달하는 확산수단을 포함함으로써 수직, 즉 상하방향으로 균일한 증착물질의 분사가 가능하여 기판(S)에 대한 최적의 증착공정조건을 형성할 수 있다.

대표청구항 ▼

증착용 기판(S)이 수직으로 로딩되는 증착챔버(10)와, 증착챔버(10) 내부에 설치되어 기판(S)에 대하여 증착물질을 증발하도록 증착물질을 가열하여 증발시키는 하나 이상의 소스(20)를 포함하는 OLED 증착기 소스로서,상기 증착챔버(100)에 수직으로 로딩된 기판(S)을 향하여 증발된 증착물질을 분사하는 다수의 노즐들(111)이 수직방향으로 간격을 이루어 형성되며 내부에 증착물질의 확산공간(MS)이 형성된 노즐본체(110)와,히터(130)가 설치되며 상기 히터(130)에 의하여 증착물질을 가열하여 증발시키는 증발용기(120)와,

증착용 기판(S)이 수직으로 로딩되는 증착챔버(10)와, 증착챔버(10) 내부에 설치되어 기판(S)에 대하여 증착물질을 증발하도록 증착물질을 가열하여 증발시키는 하나 이상의 소스(20)를 포함하는 OLED 증착기 소스로서,상기 증착챔버(100)에 수직으로 로딩된 기판(S)을 향하여 증발된 증착물질을 분사하는 다수의 노즐들(111)이 수직방향으로 간격을 이루어 형성되며 내부에 증착물질의 확산공간(MS)이 형성된 노즐본체(110)와,히터(130)가 설치되며 상기 히터(130)에 의하여 증착물질을 가열하여 증발시키는 증발용기(120)와,상기 증발용기(120)에서 증발된 증착물질을 1차로 확산시켜 상기 확산공간(MS)으로 전달하는 확산수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 OLED 증착기 소스.