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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-1993-0003663 (1993-03-11) |
공개번호 | 10-1993-0020599 (1993-10-20) |
등록번호 | 10-0225147-0000 (1999-07-16) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019930003663 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (1996-07-23) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
포스폰산 킬레이트화제 및 습윤제를 함유하거나, 또는 습윤제만을 함유하는, 반도체 기판용 세정용의 산성 또는 염기성 과산화수소 세정액.
포스폰산 킬레이트화제 및 습윤제를 함유하는, 반도체 기판용 세정용의 산성 또는 염기성 관산화수소 세정액.
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