[특허]반도체 기판용 세정액

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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/304
출원번호	10-1993-0003663 (1993-03-11)
공개번호	10-1993-0020599 (1993-10-20)
등록번호	10-0225147-0000 (1999-07-16)
DOI	http://doi.org/10.8080/1019930003663
발명자 / 주소	스기하라야스오 / 일본국지바껭가시와시지요다---** 다나까가즈시게 / 일본국도오꾜도가쓰시까꾸니이주꾸--가쓰시까뷰하이쓰** 사꾸마이꾸에 / 일본국사이따마껭고시가야시하나따--*
출원인 / 주소	미츠비시 가스 가가쿠 가부시키가이샤 / 일본 도쿄도 지요다쿠 마루노우치 쵸메 반 *고
대리인 / 주소	박해선; 이준구 (PARK, Hae Sun) 서울 강남구 역삼동 - 동경빌딩(특허법인 코리아나); 서울 강남구 역삼동 - 동 경빌딩 *층
심사청구여부	있음 (1996-07-23)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	소멸

초록

포스폰산 킬레이트화제 및 습윤제를 함유하거나, 또는 습윤제만을 함유하는, 반도체 기판용 세정용의 산성 또는 염기성 과산화수소 세정액.

대표청구항

포스폰산 킬레이트화제 및 습윤제를 함유하는, 반도체 기판용 세정용의 산성 또는 염기성 관산화수소 세정액.

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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