초록

스핀 코터에서 포토 레지스터(PR)를 원심력에 의해 도포할 때 노즐(54)을 통해 기판(P)의 중앙부로 포토 레지스터(PR)가 공급되어 퍼질 때 상, 하부 커버(52,53)의 내부 공기가 스핀 척(51)의 회전에 따른 공기 유동이 발생되어 포토 레지스터(PR)가 불균일하게 도포됨을 방지하기 위하여, 스핀 척(51)의 회전 시 내부의 공기 유동을 방지하기 위해 내부를 진공 상태를 유지하는 진공 수단을 포함하여 구성함으로써 포토 레지스터(PR)를 균일하게 도포할 수 있다.

대표청구항 ▼

포토 레지스터(PR)를 원심력에 의해 도포하는 스핀 코터에 있어서, 스핀 척(51)의 회전 시 내부의 공기 유동을 방지하기 위해 내부를 진공 상태로 유지하는 진공 수단을 포함하여 구성함을 특징으로 하는 스핀 코터.제1항에 있어서, 진공 수단은 상, 하부 커버(52,53)의 밀폐 시 외부와 차단시키기 위해 상, 하부 커버(52,53)의 사이에 설치된 시일(1)과, 상기한 상, 하부 커버(52,53)의 내부에서 회전되는 스핀 척(51)에 형성된 다수의 통기공(2)과, 상기한 통기공(2)에 연결되어 있는 진공 펌프(3)로 구성함을 특징으

포토 레지스터(PR)를 원심력에 의해 도포하는 스핀 코터에 있어서, 스핀 척(51)의 회전 시 내부의 공기 유동을 방지하기 위해 내부를 진공 상태로 유지하는 진공 수단을 포함하여 구성함을 특징으로 하는 스핀 코터.제1항에 있어서, 진공 수단은 상, 하부 커버(52,53)의 밀폐 시 외부와 차단시키기 위해 상, 하부 커버(52,53)의 사이에 설치된 시일(1)과, 상기한 상, 하부 커버(52,53)의 내부에서 회전되는 스핀 척(51)에 형성된 다수의 통기공(2)과, 상기한 통기공(2)에 연결되어 있는 진공 펌프(3)로 구성함을 특징으로 하는 스핀 코터.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.