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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-1994-0032935 (1994-12-06) |
공개번호 | 10-1996-0026073 (1996-07-20) |
등록번호 | 10-0322685-0000 (2002-01-17) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019940032935 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (1999-10-07) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
스핀 코터에서 포토 레지스터(PR)를 원심력에 의해 도포할 때 노즐(54)을 통해 기판(P)의 중앙부로 포토 레지스터(PR)가 공급되어 퍼질 때 상, 하부 커버(52,53)의 내부 공기가 스핀 척(51)의 회전에 따른 공기 유동이 발생되어 포토 레지스터(PR)가 불균일하게 도포됨을 방지하기 위하여, 스핀 척(51)의 회전 시 내부의 공기 유동을 방지하기 위해 내부를 진공 상태를 유지하는 진공 수단을 포함하여 구성함으로써 포토 레지스터(PR)를 균일하게 도포할 수 있다.
포토 레지스터(PR)를 원심력에 의해 도포하는 스핀 코터에 있어서, 스핀 척(51)의 회전 시 내부의 공기 유동을 방지하기 위해 내부를 진공 상태로 유지하는 진공 수단을 포함하여 구성함을 특징으로 하는 스핀 코터.제1항에 있어서, 진공 수단은 상, 하부 커버(52,53)의 밀폐 시 외부와 차단시키기 위해 상, 하부 커버(52,53)의 사이에 설치된 시일(1)과, 상기한 상, 하부 커버(52,53)의 내부에서 회전되는 스핀 척(51)에 형성된 다수의 통기공(2)과, 상기한 통기공(2)에 연결되어 있는 진공 펌프(3)로 구성함을 특징으
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