[특허]스퍼터된 물질을 균일한 두께의 박막으로 증착하는 장치 및 방법

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[한국특허] 스퍼터된 물질을 균일한 두께의 박막으로 증착하는 장치 및 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/203
출원번호	10-1995-0032019 (1995-09-27)
공개번호	10-1996-0012308 (1996-04-20)
DOI	http://doi.org/10.8080/1019950032019
발명자 / 주소	제임눌만 / 미합중국***캘리포니아팔로알토까미노웨이*-지이
출원인 / 주소	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 / 미국 *** 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애브뉴 **
대리인 / 주소	남상선 (NAM, Sang Sun) 서울시 중구 서소문동 *-,대한항공빌딩 *층(남앤드남국제특허법률사무소)
심사진행상태	취하(심사미청구)
법적상태	취하

초록

스퍼터링 챔버가 기판을 설치하기 위한 기판 지지 부재 및 지지 부재안에 스퍼터링 목표를 포함한다. 목표의 스퍼터링 표면의 적어도 일부분은 기관과 평행하지 않게 위치한다. 본 발명의 특징에 따라, 목표의 스퍼터링 표면은 원뿔형이며, 기판에 근접하도록 점차 가늘어진다.

대표청구항

스퍼터링 목표와 그 내부에 기판 지지 부재를 갖는 진공 장치(enclosure); 및 상기 지지 부재의 평평한 기판 수용 표면에 대하여 비스듬히 놓여진 철면 표면의 적어도 일부분을 포함하며, 상기 기판 지지 부재는 평평한 기판 수용 표면을 가지며; 상기 목표는 상부에 철면(凸面) 스퍼터링 표면을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판위에 박막층을 스퍼터링 하기 위한 장치.

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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