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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-1995-0032019 (1995-09-27) |
공개번호 | 10-1996-0012308 (1996-04-20) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019950032019 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
스퍼터링 챔버가 기판을 설치하기 위한 기판 지지 부재 및 지지 부재안에 스퍼터링 목표를 포함한다. 목표의 스퍼터링 표면의 적어도 일부분은 기관과 평행하지 않게 위치한다. 본 발명의 특징에 따라, 목표의 스퍼터링 표면은 원뿔형이며, 기판에 근접하도록 점차 가늘어진다.
스퍼터링 목표와 그 내부에 기판 지지 부재를 갖는 진공 장치(enclosure); 및 상기 지지 부재의 평평한 기판 수용 표면에 대하여 비스듬히 놓여진 철면 표면의 적어도 일부분을 포함하며, 상기 기판 지지 부재는 평평한 기판 수용 표면을 가지며; 상기 목표는 상부에 철면(凸面) 스퍼터링 표면을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판위에 박막층을 스퍼터링 하기 위한 장치.
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