초록 ▼

본 발명은, 한쪽지지빔의 자유단부에 침이 장착되어서 이루어진 탐침의 선단부와, 시료표면과의 사이에 작용하는 원자간력에 의해 발생하는 탐침의 변위를 광학적으로 검출하는 원자간력현미경에 관하여, 특히 대형·대면적의 시료에 대응하는데 적합한 원자간력현미경에 관한 것으로서, 시료를 고정한 상태로, 탑침쪽을 주사해서, 원활하고 또한 정확하게 측정을 행할 수 있고, 종래에는 불가능했던 대형·대면적의 시료를 비파괴상태로 측정할 수 있는 원자간력현미경을 제공하는 것을 목적으로 한 것이며, 그 구성에 있어서, 공초점렌즈(107) 및 탐침(110)을

본 발명은, 한쪽지지빔의 자유단부에 침이 장착되어서 이루어진 탐침의 선단부와, 시료표면과의 사이에 작용하는 원자간력에 의해 발생하는 탐침의 변위를 광학적으로 검출하는 원자간력현미경에 관하여, 특히 대형·대면적의 시료에 대응하는데 적합한 원자간력현미경에 관한 것으로서, 시료를 고정한 상태로, 탑침쪽을 주사해서, 원활하고 또한 정확하게 측정을 행할 수 있고, 종래에는 불가능했던 대형·대면적의 시료를 비파괴상태로 측정할 수 있는 원자간력현미경을 제공하는 것을 목적으로 한 것이며, 그 구성에 있어서, 공초점렌즈(107) 및 탐침(110)을 구비한 Z방향주사블록(23)과, Z방향주사블록(23)을 시료(41)표면에 대해서 수직방향으로 이동시키는 Z방향스캐너(26)와, Z방향주사블록(23), Z방향스캐너(26) 및 미러(106)를 구비한 X방향주사블록(21)과, X방향주사블록(21)을 시료(41)표면에 대해서 평행인 면내의 제1의 측방향으로 이동시키는 X방향스캐너(24)와, X방향주사블록(21), X방향스캐너(24), 검출광방사계(101),(102),(104),(105) 및 변위검출계(105),(104),(111),(112)를 구비한 Y방향주사블록(22)과, Y방향주사블록(22)을 시료(41)표면에 대해서 평행인 면내의 제1의 축방향으로 직교하는 제2의 축방향으로 이동시기는 Y방향스캐너(25)를 구비한 것을 특징으로 한 것이다.

대표청구항 ▼

검출광방시계로부터 방사된 대략 평행인 변위검출광을, 미러에 의해 대략 직각방향으로 방향을 바꾸어서 공초점렌즈로 인도하고, 이 공초점렌즈에 의해서 변위검출광을 탐침의 반사면 근방에 집광시켜, 시료표면과의 사이에 작용하는 원자간력에 의해 변위하는 탐침의 상기 반사면으로부터 반사하는 상기 변위에 따라서 반사각이 다른 반사광을 상기 공초점렌즈로 인도하고, 이어서 상기 미러에 의해서 대략 직각방향으로 방향을 바꾸어서 변위검출계로 인도하고, 여기서 탐침의 변위를 확대해서 검출하는 원자간력현미경에 있어서, 상기 공초점렌즈 및 탐침을 구비한 Z방

검출광방시계로부터 방사된 대략 평행인 변위검출광을, 미러에 의해 대략 직각방향으로 방향을 바꾸어서 공초점렌즈로 인도하고, 이 공초점렌즈에 의해서 변위검출광을 탐침의 반사면 근방에 집광시켜, 시료표면과의 사이에 작용하는 원자간력에 의해 변위하는 탐침의 상기 반사면으로부터 반사하는 상기 변위에 따라서 반사각이 다른 반사광을 상기 공초점렌즈로 인도하고, 이어서 상기 미러에 의해서 대략 직각방향으로 방향을 바꾸어서 변위검출계로 인도하고, 여기서 탐침의 변위를 확대해서 검출하는 원자간력현미경에 있어서, 상기 공초점렌즈 및 탐침을 구비한 Z방향주사블록과, Z방향주사블록을 시료표면에 대해서 수직방향으로 이동시키는 Z방향스캐너와, 상기 Z방향주사블록, 상기 Z방향스캐너 및 상기 미러를 구비한 X방향주사블록과, X방향주사블록을 시료표면에 대해서 평행인 면내의 제1의 축방향으로 이동시키는 X방향스캐너와, 상기 X방향주사블록, 상기 X방향스캐너, 상기 검출광방사계 및 상기 변위검출계를 구비한 Y방향주사블록과, Y방향주사블록을 시료표면에 대해서 평행인 면내의 제1의 축방향으로 직교하는 제2의 축방향으로 이동시키는 Y방향스캐너를 구비한 것을 특징으로 하는 원자간력현미경.