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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-1996-0003730 (1996-02-15) |
공개번호 | 10-1996-0032514 (1996-09-17) |
등록번호 | 10-0228146-0000 (1999-08-09) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019960003730 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (1996-02-15) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 전기절연성 기재 및 전기한 기재상에 형성된 백금막이 구비된 측온저항체 소자의 저항온도계수의 조정방법을 제공한다. 전기한 백금막은 유기백금 화합물을 소성함으로써 형성된다. 성막후에 백금막의 열처리 온도 또는 백금막의 두께를 제어하여 저항온도계수(TCR)를 조정한다.
전기절연성 기재 및 전기한 기재 상에 형성된 백금막을 구비한 측온저항체 소자의 저항온도계수의 조정방법에 있어서, 하기의 공정 ; 전기한 기재 상에 유기백금 화합물을 소성함으로써 백금막을 형성하는 공정; 및 백금막의 저항온도계수를 조정하기 위하여 백금막의 두께와 백금막을 형성한 후의 백금막 열처리온도 중 적어도 하나를 제어하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 측온저항체 소자의 저항온도계수의 조정방법.전기절연성 기재 및 전기한 기재 상에 형성된 백금막을 구비한 측온저항체 소자의 저항온도계수의 조정방법에 있어서, 하기의 공정 ; 전기
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