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[한국특허] CHEMICAL-BATH-DEPOSITION법과 염화-카드뮴 열처리에 의한 황화-카드뮴 박막의 제조
FABRICATING METHOD OF CDS THIN FILM BY HEAT TREATMENT OF CDCL2 AND CDS POWDER
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IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-031/042
출원번호 10-1996-0028492 (1996-07-15)
공개번호 10-1998-0012650 (1998-04-30)
등록번호 10-0220371-0000 (1999-06-21)
DOI http://doi.org/10.8080/1019960028492
발명자 / 주소
  • 송진수 / 대전광역시 유성구 도룡동 ***-**
  • 안병태 / 대전광역시 유성구 어은동 한빛아파트 ***동 ****호
  • 박성찬 / 대전광역시 유성구 구성동 ***-* 한국과학기술원 재료공학과
출원인 / 주소
  • 한국에너지기술연구원 / 대전 유성구 장동 **-*
대리인 / 주소
  • 김경식 (KIM, Kyong Shik)
  • 서울 서초구 서초*동 ****-** 모인터빌딩 *층
심사청구여부 있음 (1996-07-15)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록

본 발명은 황화-카드윰(CdS) 박막의 제조 방법에 관한 것으로서, CBD냅으로 제조한 황화-카드뮤((CdS) 박 막을 염화-카드윰(Cdclz) 열터리함으로서 결정의 크기가 크고 치밀하며, 표면 또한 평탄한 황차-카드윰(fidS)박막을 제조할 수 있는 방법에 관한 것으로 기판을 세척하고 CBD법을 사용하여 황화-카드윰(CdS)박막을 제 조하고 제조된 황화-카드윰(CdS) 박막을 염화-카드윰(CdCl,)용액이나 염화-카드윰(CdCl,) 분말 그리고 황화-카드윰(CdS) 분말과 함게 특별히 제작한 카본 보트(carbon boat)속에

대표청구항

트리클로로에틸렌. 아세톤, 메탄올의 순서로 초음파 세터된 기판에 근BD법을 이용하여 CdS(황화-카드규)박만을 형성시키고, 이를 뚜겅이 있는 카븐 보트(carbon boat)속에 넣어 비활성 분위기 속에서 열처리하는 것을 특징으로 하는 CBD(Chemlcal-bath-deposition)법과 Cdc17(염화-카드윰) 열처리에 의한 CdS 박막 제조방법.

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