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소프트 리소그래피(Soft Lithography)를 이용한 마이크로/나노 패터닝 기술
Soft Lithographic Methods to Micro/Nanofabrication 원문보기

고분자 과학과 기술 = Polymer science and technology, v.23 no.6, 2012년, pp.629 - 635  

박경선 (Department of Chemistry, Hanyang University) ,  이기석 (Department of Chemistry, Hanyang University) ,  성명모 (Department of Chemistry, Hanyang University)

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문제 정의

  • 대표적인 소프트 리소그래피 방법으로는 미세접촉프린팅(μCP), decal transfer 미세전사법(decal transfer microlithography, DTM), 광 스탬프(light stamp) 등의 프린팅 방법과 레플리카 몰딩(replica molding), 모세관 힘 리소그래피(capillary force lithography) 모세관-미세몰딩(micromolding in capillaries, MIMIC), 미세전사몰딩(microtransfer molding, μTM), 나노임프린팅(nanoimprinting), 액체중재전사몰딩(liquid-bridge-mediated nanotransfer molding, LB- nTM)등의 몰딩법이 있다. 이 글에서는 소프트 리소그래피 방법을 이용하여 마이크로미터 또는 나노미터 크기의 구조를 제작하고 이 구조를 이용한 응용연구 중심으로 연구동향을 소개한다.
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질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
소프트 리소그래피 방법이란 무엇인가? 1990년대 초부터 Harvard 대학의 Whitesides 교수는 미세접촉프린팅(microcontact printing, μCP)과 미세몰딩(micromolding)을 “소프트 리소그래피(soft lithography)”방법으로 정의하고 많은 독보적인 연구 결과들을 발표하였다.3 소프트 리소그래피 방법은 유연한 유기물질(작용기를 갖는 알칸과 고분자물질)을 사용하여 기존의 포토리소그래피에서 사용하는 복잡한 장치를 사용하지 않고 패턴(pattern)이나 구조물을 만드는 새로운 전사법을 말한다. 이 기술은 빠르고 값싸게 나노 또는 마이크로미터 단위의 형상과 구조물을 제작하기에 용이하다.
소프트 리소그래피 방법은 어디에 용이한가? 3 소프트 리소그래피 방법은 유연한 유기물질(작용기를 갖는 알칸과 고분자물질)을 사용하여 기존의 포토리소그래피에서 사용하는 복잡한 장치를 사용하지 않고 패턴(pattern)이나 구조물을 만드는 새로운 전사법을 말한다. 이 기술은 빠르고 값싸게 나노 또는 마이크로미터 단위의 형상과 구조물을 제작하기에 용이하다. 소프트 리소그래피는 고분자 도장을 이용하여 원하는 기판에 패턴을 전사하는 방식으로 방법에 따라 크게 프린팅(printing)과 몰딩(molding)으로 나눌 수 있다.
대표적인 소프트 리소그래피 방법은 무엇이 있는가? 소프트 리소그래피는 고분자 도장을 이용하여 원하는 기판에 패턴을 전사하는 방식으로 방법에 따라 크게 프린팅(printing)과 몰딩(molding)으로 나눌 수 있다. 대표적인 소프트 리소그래피 방법으로는 미세접촉프린팅(μCP), decal transfer 미세전사법(decal transfer microlithography, DTM), 광 스탬프(light stamp) 등의 프린팅 방법과 레플리카 몰딩(replica molding), 모세관 힘 리소그래피(capillary force lithography) 모세관-미세몰딩(micromolding in capillaries, MIMIC), 미세전사몰딩(microtransfer molding, μTM), 나노임프린팅(nanoimprinting), 액체중재전사몰딩(liquid-bridge-mediated nanotransfer molding, LB- nTM)등의 몰딩법이 있다. 이 글에서는 소프트 리소그래피 방법을 이용하여 마이크로미터 또는 나노미터 크기의 구조를 제작하고 이 구조를 이용한 응용연구 중심으로 연구동향을 소개한다.
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