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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-1996-0045090 (1996-10-10) |
공개번호 | 10-1998-0026590 (1998-07-15) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019960045090 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (1996-10-10) |
심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
웨이퍼와 같은 이송물을 공정수행 전 또는 후에 원하는 장소로 자동반송시키도록 개선시킨 반도체 제조공장의 물류 시스템에 관한 것이다.본 발명은, 이송물을 공정설비가 배치된 제조라인의 특정 위치로 자동 반송시키는 반도체 제조공장의 물류 시스템에 있어서, 베이(Bay)를 주행하면서 상기 이송물을 반송하는 자동반송차량, 상기 이송물에 대한 생산정보 및 물류정보를 관리하고, 반송이 발생되면 반송을 위한 제어정보를 출력하는 제어수단 및 상기 제어정보
이송물을 공정설비가 배치된 제조라인의 특정 위치로 자동 반송시키는 반도체 제조공장의 물류 시스템에 있어서,베이(Bay)를 주행하면서 상기 이송물을 반송하는 자동반송차량;상기 이송물에 대한 생산정보 및 물류정보를 관리하고, 반송이 발생되면 반송을 위한 제어정보를 출력하는 제어수단; 및상기 제어정보를 판독하여 통신으로 반송을 위한 상기 자동반송차량의 이동 및 동작을 제어하는 자동반송차량 제어수단;을 구비함을 특징으로 하는 반도체 제조공장의 물류
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