[특허]반도체 제조공장의 물류 시스템

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반도체 제조공장의 물류 시스템 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/68
출원번호	10-1996-0045090 (1996-10-10)
공개번호	10-1998-0026590 (1998-07-15)
DOI	http://doi.org/10.8080/1019960045090
발명자 / 주소	이창수 / 서울특별시 금천구 시흥동 -번지 영일빌라 차 동 ***호
출원인 / 주소	삼성전자주식회사 / 경기도 수원시 영통구 매탄동 ***
대리인 / 주소	박만순; 신동준 (PARK, Man Soon) 서울 강남구 역삼동 *- 덕원빌딩 층; 서울서초구서초동**-서초제일빌딩***호(인벤티브국제특허법률사무소)
심사청구여부	있음 (1996-10-10)
심사진행상태	거절결정(일반)
법적상태	거절

초록 ▼

웨이퍼와 같은 이송물을 공정수행 전 또는 후에 원하는 장소로 자동반송시키도록 개선시킨 반도체 제조공장의 물류 시스템에 관한 것이다.본 발명은, 이송물을 공정설비가 배치된 제조라인의 특정 위치로 자동 반송시키는 반도체 제조공장의 물류 시스템에 있어서, 베이(Bay)를 주행하면서 상기 이송물을 반송하는 자동반송차량, 상기 이송물에 대한 생산정보 및 물류정보를 관리하고, 반송이 발생되면 반송을 위한 제어정보를 출력하는 제어수단 및 상기 제어정보를 판독하여 통신으로 반송을 위한 상기 자동반송차량의 이동 및 동작을 제어하는 자동반송차량 제어수단을 구비하여 이루어진다.따라서, 본 발명에 따른 물류 시스템에 의하면 반도체 공장 내부의 물류를 체계적이고 효과적으로 운용 및 관리할 수 있고, 수율이 상승되고, 제조단가가 절감되는 효과가 있다.

대표청구항 ▼

이송물을 공정설비가 배치된 제조라인의 특정 위치로 자동 반송시키는 반도체 제조공장의 물류 시스템에 있어서,베이(Bay)를 주행하면서 상기 이송물을 반송하는 자동반송차량;상기 이송물에 대한 생산정보 및 물류정보를 관리하고, 반송이 발생되면 반송을 위한 제어정보를 출력하는 제어수단; 및상기 제어정보를 판독하여 통신으로 반송을 위한 상기 자동반송차량의 이동 및 동작을 제어하는 자동반송차량 제어수단;을 구비함을 특징으로 하는 반도체 제조공장의 물류

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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