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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-1996-0058499 (1996-11-27) |
공개번호 | 10-1998-0039475 (1998-08-17) |
등록번호 | 10-0207527-0000 (1999-04-13) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019960058499 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (1996-11-27) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 세정설비의 뚫 스테이션(wet station)에서 기계적인 장애 발생시 그 상황을 파악하는 것과 조치를 취하는 것이 서비스 영역한 곳에서 이루어진다.따라서 장애가 발생했을 때 그 상황은 서비스영역에서 확인하고 필요한 조치는 작업영역에서 취하는 2원화된 체계의 종래 기술에 비해 본 발명은 장애의 확인과 조치가 일원화되어 있으므로 기계적 장애의 극복과정이 번거롭지 않고 기계의 정지시간과 함께 정비시간을 줄여서 생산성을 향상시킬 수 있다.
작업영역(working area)에 SWAP를 구비하고 서비스영역에는 엔.티 패널(N.T Panel)을 구비하는 세정설비의 뚫 스테이션에 있어서,기계적 장애(Mechanical N.G)발생시 그 확인과 조치를 상기 서비스 영역에서 실시하는 것을 특징으로 하는 반도체장치의 뚫 스테이션(Wet Station)에서의 기계적 장애를 처리하는 방법.
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