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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-1997-0001724 (1997-01-22) |
공개번호 | 10-1998-0066300 (1998-10-15) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019970001724 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 챔버 내에 탑재된 웨이퍼의 온도를 센서를 이용하여 감지하고 이 감지된 온도에 따라 웨이퍼의 냉각용 가스(He)량을 자동적으로 조절할 수 있도록 한 웨이퍼 온도 제어 장치에 관한 것이다.본 발명에 따르면, 소정의 웨이퍼가 장착된 챔버에 있어서, 상기 웨이퍼를 지지하는 고정척에 설치되어 상기 웨이퍼의 온도를 감지하는 센서와 상기 센서를 제어하는 제 2 제어부를 구비하는 감지부와, 상기 제 2 제어부의 출력데이타를 받아 입력된 공정 레시피(recipe) 데이터와 비교하여 제어신호를 발생하는 제 1 제어부와, 상기 제 1 제어부
소정의 웨이퍼가 장착된 챔버에 있어서, 상기 웨이퍼를 지지하는 고정척에 설치되어 상기 웨이퍼의 온도를 감지하는 센서와 상기 센서를 제어하는 제 2 제어부를 구비하는 감지부와, 상기 제 2 제어부의 출력데이타를 받아 입력된 공정 레시피(recipe) 데이터와 비교하여 제어신호를 발생하는 제 1 제어부와, 상기 제 1 제어부에서 출력되는 제어신호에 따라 유량의 흐름을 조절하는 유량 조절부를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 온도 제어 장치.
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