초록 ▼

본 고안은 웨이퍼의 냉각 상태를 정확하게 측정하여 웨이퍼 냉각 시간을 최소화하고, 후속 공정시 웨이퍼의 디스토션을 방지하는 웨이퍼 온도 측정 장치를 제공하는데 그 목적이 있다. 본 고안은 소정의 유전체를 사이에 두고 웨이퍼가 올려지는 플레이트와 웨이퍼 사이의 캐패시턴스가 웨이퍼의 냉각 정도와 일정한 관계를 가지도록 구성한다. 즉, 플레이트 및 웨이퍼에 각각 전원을 인가하고 웨이퍼의 냉각 상태(웨이퍼의 디스토션)에 의한 캐패시턴스의 변화를 전류계를 통해 측정함으로써 웨이퍼의 완전한 냉각 상태를 파악하는 기술이다. 상기한 본 고안의 기

본 고안은 웨이퍼의 냉각 상태를 정확하게 측정하여 웨이퍼 냉각 시간을 최소화하고, 후속 공정시 웨이퍼의 디스토션을 방지하는 웨이퍼 온도 측정 장치를 제공하는데 그 목적이 있다. 본 고안은 소정의 유전체를 사이에 두고 웨이퍼가 올려지는 플레이트와 웨이퍼 사이의 캐패시턴스가 웨이퍼의 냉각 정도와 일정한 관계를 가지도록 구성한다. 즉, 플레이트 및 웨이퍼에 각각 전원을 인가하고 웨이퍼의 냉각 상태(웨이퍼의 디스토션)에 의한 캐패시턴스의 변화를 전류계를 통해 측정함으로써 웨이퍼의 완전한 냉각 상태를 파악하는 기술이다. 상기한 본 고안의 기술적 원리로부터 제공되는 웨이퍼 온도 측정 장치는 웨이퍼와 소정의 유전체로 분리된 제1 플레이트; 상기 제1 플레이트와 전기적으로 격리되며, 상기 웨이퍼와 전기적으로 결합된 제2 플레이트; 상기 제1 및 제2 플레이트에 전원을 공급하기 위한 전원 공급 수단; 및 상기 제1 및 제2 플레이트 사이의 전류를 측정하기 위한 전류 측정 수단을 포함하여 이루어진다.

대표청구항

웨이퍼와 소정의 유전체로 분리된 제1 플레이트;상기 제1 플레이트와 전기적으로 격리되며, 상기 웨이퍼와 전기적으로 결합된 제2 플레이트;상기 제1 및 제2 플레이트에 전원을 공급하기 위한 전원 공급 수단; 및상기 제1 및 제2 플레이트 사이의 전류를 측정하기 위한 전류 측정 수단을 포함하여 이루어진 웨이퍼 온도 측정 장치.

웨이퍼와 소정의 유전체로 분리된 제1 플레이트;상기 제1 플레이트와 전기적으로 격리되며, 상기 웨이퍼와 전기적으로 결합된 제2 플레이트;상기 제1 및 제2 플레이트에 전원을 공급하기 위한 전원 공급 수단; 및상기 제1 및 제2 플레이트 사이의 전류를 측정하기 위한 전류 측정 수단을 포함하여 이루어진 웨이퍼 온도 측정 장치.