초록 ▼

본 발명은 집적회로 제조 설비용 저장고에서 한 번의 반송 싸이클(cycle)동안 반입, 반출용 반송물들을 동시에 층간 반송하여 반송율을 향상시키도록 한 복수 반송물 반송용 층간 반송차의 구조에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 층간 반송차의 반송율을 향상시켜 반송 시간을 단축시키도록 한 복수 반송물 반송용 층간 반송차의 구조를 제공하는데 있다. 이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 복수 반송물 반송용 층간 반송차의 구조는 층간 반송차를 복수층으로 형성하여 하나의 층간 반송차에 반입용 카세트 박스를 다른 하나의 층간 반송차에

본 발명은 집적회로 제조 설비용 저장고에서 한 번의 반송 싸이클(cycle)동안 반입, 반출용 반송물들을 동시에 층간 반송하여 반송율을 향상시키도록 한 복수 반송물 반송용 층간 반송차의 구조에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 층간 반송차의 반송율을 향상시켜 반송 시간을 단축시키도록 한 복수 반송물 반송용 층간 반송차의 구조를 제공하는데 있다. 이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 복수 반송물 반송용 층간 반송차의 구조는 층간 반송차를 복수층으로 형성하여 하나의 층간 반송차에 반입용 카세트 박스를 다른 하나의 층간 반송차에 반출용 카세트 박스를 반송하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하면, 소정 층의 저장고의 이재기가 층간 반송차의 1싸이클 반송동안 카세트 박스의 반입, 반출을 동시에 수행하여 층간 반송차의 반송율을 향상시킨다. 따라서, 층간 반송차가 반송시간을 상당히 단축할 수 있다.

대표청구항

각 층의 저장고에 저장된 반송물을 층간 반송하는 층간 반송차에 있어서, 상기 층간 반송차가 반입, 반출용 반송물을 각각 반송하기 위한 복수 층으로 이루어져 있어 해당 층의 상기 저장고의 반입, 반출용 이재기들이 상기 층간 반송차의 각 층의 반송물들을 동시에 반입, 반출하는 것을 특징으로 하는 복수 반송물 반송용 층간 반송차의 구조.

각 층의 저장고에 저장된 반송물을 층간 반송하는 층간 반송차에 있어서, 상기 층간 반송차가 반입, 반출용 반송물을 각각 반송하기 위한 복수 층으로 이루어져 있어 해당 층의 상기 저장고의 반입, 반출용 이재기들이 상기 층간 반송차의 각 층의 반송물들을 동시에 반입, 반출하는 것을 특징으로 하는 복수 반송물 반송용 층간 반송차의 구조.