[특허]기판을 수직상태로 이송시킬 수 있는 기판 반송장치

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기판을 수직상태로 이송시킬 수 있는 기판 반송장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록실용신안
국제특허분류(IPC9판)	H01L-021/68
출원번호	20-2003-0033724 (2003-10-28)
등록번호	20-0357165-0000 (2004-07-14)
DOI	http://doi.org/10.8080/2020030033724
발명자 / 주소	박춘성 / 전라북도정읍시신태인읍연정리**-번지
출원인 / 주소	주식회사 디엠에스 / 경기도 화성시 팔탄면 지월리 *-
대리인 / 주소	유미특허법인 (YOU ME Patent & Law Firm) 서울특별시 강남구 역삼동 *- 서림빌딩**층(유미특허법인)
심사진행상태	설정등록의뢰
법적상태	소멸

초록

기판을 수직상태로 이송시키는 기판 이송장치가 개시된다. 그러한 기판 이송장치는 기판을 수직상태로 적치하는 적치대(CASSETTE)와, 상기 적치대로부터 기판을 수직상태로 인출하는 이송부와, 그리고 상기 이송부로부터 기판을 수직상태로 인수하여 기판처리라인으로 공급하는 수직반송부를 포함한다. 이러한 기판 반송장치는 기판을 수직상태로 이송시킴으로써 기판처리를 위한 공간을 최소화함으로써 설치비 및 설치면적으로 줄일 수 있는 장점이 있다.

대표청구항

(정정)기판을 수직상태로 적치하는 적치대(CASSETTE)와;X,Y,Z 방향으로 이동 가능한 아암과, 진공으로 기판을 흡착하는 흡착패드를 구비하는 로봇을 포함하여, 상기 적치대로부터 기판을 수직상태로 인출하는 이송부와; 그리고상기 이송부로부터 기판을 수직상태로 인수하여 기판처리라인으로 공급하는 수직반송부를 포함하는 기판 반송장치.

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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