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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-1997-0030430 (1997-06-30) |
공개번호 | 10-1999-0006208 (1999-01-25) |
등록번호 | 10-0431318-0000 (2004-04-30) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019970030430 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2001-08-16) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 반도체 소자를 테스트하는 장치에 관한 것으로써, 보다 구체적으로는 고전압 정전기에 의해 손상된 회로에서 발생하는 누설전류를 측정함과 동시에 다른 테스터와 인터페이스 가능한 ESD 테스터에 관한 것이다.반도체 소자의 ESD 손상을 검사하는 제1테스터 수단과, 상기 제1테스트 수단에 접속되고, DC 테스트와 기능 테스트를 수행하기 위한 제2테스트 수단과, 상기 제1테스터 수단과 제2테스터 수단을 선택적으로 반도체 소자에 연결하여 반도체 소자를 ESD테스트한 후, 연속적으로 DC테스트와 기능 테스트를 수행하도록 하는 인터페이스
반도체 소자의 ESD 손상을 검사하는 제1테스트 수단과,상기 제1테스트 수단에 접속되고, DC 테스트와 기능(function) 테스트를 수행하기 위한 제2테스트 수단과,상기 제1테스트 수단과 제2테스트 수단을 선택적으로 반도체 소자에 연결하여 반도체 소자를 ESD 테스트한 후, 연속적으로 DC 테스트와 기능 테스트를 수행하도록 하는 인터페이스 수단으로 구성된 반도체 소자의 ESD 테스트 장치.
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