초록 ▼

본 발명은 반도체 소자를 테스트하는 장치에 관한 것으로써, 보다 구체적으로는 고전압 정전기에 의해 손상된 회로에서 발생하는 누설전류를 측정함과 동시에 다른 테스터와 인터페이스 가능한 ESD 테스터에 관한 것이다.반도체 소자의 ESD 손상을 검사하는 제1테스터 수단과, 상기 제1테스트 수단에 접속되고, DC 테스트와 기능 테스트를 수행하기 위한 제2테스트 수단과, 상기 제1테스터 수단과 제2테스터 수단을 선택적으로 반도체 소자에 연결하여 반도체 소자를 ESD테스트한 후, 연속적으로 DC테스트와 기능 테스트를 수행하도록 하는 인터페이스

본 발명은 반도체 소자를 테스트하는 장치에 관한 것으로써, 보다 구체적으로는 고전압 정전기에 의해 손상된 회로에서 발생하는 누설전류를 측정함과 동시에 다른 테스터와 인터페이스 가능한 ESD 테스터에 관한 것이다.반도체 소자의 ESD 손상을 검사하는 제1테스터 수단과, 상기 제1테스트 수단에 접속되고, DC 테스트와 기능 테스트를 수행하기 위한 제2테스트 수단과, 상기 제1테스터 수단과 제2테스터 수단을 선택적으로 반도체 소자에 연결하여 반도체 소자를 ESD테스트한 후, 연속적으로 DC테스트와 기능 테스트를 수행하도록 하는 인터페이스 수단으로 반도체 메모리 소자의 테스트 장치를 구성한다. 반도체 소자에 대하여 ESD 테스트를 실시한 후, 상기 인터페이스 수단을 제어하여 동일장치내에서 반도체 소자에 대하여 DC 테스트를 실시하고, 이어서 반도체 소자에 대하여 기능 테스트를 실시한다.

대표청구항

반도체 소자의 ESD 손상을 검사하는 제1테스트 수단과,상기 제1테스트 수단에 접속되고, DC 테스트와 기능(function) 테스트를 수행하기 위한 제2테스트 수단과,상기 제1테스트 수단과 제2테스트 수단을 선택적으로 반도체 소자에 연결하여 반도체 소자를 ESD 테스트한 후, 연속적으로 DC 테스트와 기능 테스트를 수행하도록 하는 인터페이스 수단으로 구성된 반도체 소자의 ESD 테스트 장치.

반도체 소자의 ESD 손상을 검사하는 제1테스트 수단과,상기 제1테스트 수단에 접속되고, DC 테스트와 기능(function) 테스트를 수행하기 위한 제2테스트 수단과,상기 제1테스트 수단과 제2테스트 수단을 선택적으로 반도체 소자에 연결하여 반도체 소자를 ESD 테스트한 후, 연속적으로 DC 테스트와 기능 테스트를 수행하도록 하는 인터페이스 수단으로 구성된 반도체 소자의 ESD 테스트 장치.