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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-1998-0008370 (1998-03-12) |
공개번호 | 10-1998-0080196 (1998-11-25) |
등록번호 | 10-0534039-0000 (2005-11-30) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019980008370 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2003-02-12) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명에 따른 주사형 근접장 광학 현미경은 광 도파 프로브(1)와, 압전 진동체(2) 및 AC 전압-발생 수단(3)으로 이루어진 진동 적용부와, 수정 진동자(4)와 전류/전압 증폭회로(5)로 이루어진 진동-검출부와, 샘플의 표면에 근접하게 광 도파 프로브를 이끌기 위한 조동수단(coarse displacement means)(6)과, 렌즈(7)와 광 검출기(9)로 이루어진 광학 검출수단과, Z-축 이동 미세 조정장치와 Z 서보회로(12)로 이루어진 샘플과 프로브간의 거리 제어수단과, XY 미세 조정장치(13)와 XY 스캐닝 회로(
그의 선단에 파장 이하의 직경의 극 미세 개구부가 제공된 광 도파 프로브와, 압전 진동체와 AC 전압-발생부로 이루어진 진동 적용부와, 샘플의 표면에 근접하게 광 도파 프로브를 이끌기 위한 조동수단과, 렌즈와 광 검출기로 이루어진 광학 검출수단과, Z 이동 미세 조정장치와 Z 서보회로로 이루어진 샘플과 프로브간의 거리 제어수단과, XY 미세 조정장치와 XY 스캐닝 회로로 이루어진 2-차원 스캐닝 수단과, 측정 신호를 3-차원 이미지로 변환하기 위한 데이타 처리수단을 가지는 주사형 근접장 광학 현미경에 있어서, 상기 광 도파 프로브는
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