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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-1998-0041188 (1998-09-30) |
공개번호 | 10-2000-0021908 (2000-04-25) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019980041188 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 크라이오 펌프에 펌프 고정바를 설치한 반도체 증착장치에 관한 것으로, 상기 펌프 고정바는 양쪽끝부분에 몸체에 끼울 수 있는 홈이 있으며, 중앙부분에는 펌프를 받쳐줄 수 있는 턱이 있고 한쪽부분에는 상기 몸체에 끼운 다음 간격을 조절한 후 스크류로 고정할 수 있게 되어 펌프의 파손 및 안전사고를 방지할 수 있는 것이다.
타겟소스, 공정챔버, 크라이오 펌프, 몸체 등으로 이루어진 반도체 증착장치에 있어서,상기 크라이오 펌프에 펌프 고정바를 장착한 것을 특징으로 하는 반도체 증착장치.
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