[특허]화학적 기계적 연마 장치의 리테이닝 링

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화학적 기계적 연마 장치의 리테이닝 링 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)	B24B-037/04 B24B-029/00
출원번호	10-1998-0048033 (1998-11-10)
공개번호	10-2000-0031807 (2000-06-05)
DOI	http://doi.org/10.8080/1019980048033
발명자 / 주소	윤명섭 / 서울특별시 강서구 화곡동 *-번지 최찬영 / 서울특별시 금천구 시흥동 -번지
출원인 / 주소	삼성전자주식회사 / 경기도 수원시 영통구 매탄동 ***
대리인 / 주소	임창현 (YIM, Chang Hyun) 서울 강남구 역삼동 *- *층 (고려국제특허법률사무소)
심사진행상태	취하(심사미청구)
법적상태	취하

초록

본 발명의 화학적 기계적 연마 장치는 리테이닝 링(retaining ring)을 구비한다. 리테이닝 링은 리테이닝 링의 저면에 다수 개의 슬러리 통로을 위한 원형 형태의 홈들을 갖는다. 따라서 폴리싱(polishing)시 슬러리(slurry)의 원활한 공급과 리테이닝 링과 접촉하는 폴리싱 패드의 일정 부분의 마모되는 량을 줄여서 폴리싱 패드 수명 시간을 증가 시키고, 폴리싱되는 웨이퍼의 균일도를 증가시킬 수 있다.

대표청구항

화학적 기계적 연마 장치에 사용되는 리테이닝 링에 있어서, 상기 리테이닝 링의 내측 면으로부터 상기 리테이닝 링의 외측 면으로 연장되는 다수 개의 슬러리 통로인 홈들을 갖고, 상기 홈들 각각은 원형 형태의 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마 장치의 리테이닝 링.

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IPC 상위 출원인

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[논문] CMP에서 리테이너링의 압력에 따른 연마율 프로파일과 응력 분포 해석

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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