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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-1998-0051737 (1998-11-30) |
공개번호 | 10-1999-0062639 (1999-07-26) |
등록번호 | 10-0293182-0000 (2001-04-02) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019980051737 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (1998-11-30) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 캐패시터의 내부전극과 외부전극의 접촉면적을 확대한 칩형 박막 캐패시터에 관한 것으로 이는 특히, 절연성 기판(210)의 상측에 형성되는 제1 및 제2 전극(240)(220)의 일측단부가 각각 기판의 외부로 노출토록 성막되고, 상기 전극(240)(220)의 일단부 상측면이 각각 외부로 노출될 수 있도록 식각에 의해 외부로 노출토록 하며, 상기 노출되는 제1 및 제2 외부전극 접속부(260)(270)에는 단자전극(280)이 형성되고, 그 위에 제1, 제2 외부전극(290)(300)이 성막된후, 제2 유전체층(250)의 상부에
절연성 기판과,상기 절연성 기판의 상면에, 상기 절연성 기판의 일측면으로 부터 이와 대향하는 반대측면으로 향하여 성막되며, 상기 절연성 기판의 측면에 접하는 영역으로 제1 외부전극 접속부를 갖는 박막상의 전도층인 제1 전극과,상기 제1 전극의 상부에 형성되어 절연하는 제1 유전체층과,상기 제1 유전체층의 상부에 상기 절연성 기판의 반대쪽 측면으로 부터 상기 하부전극과 소정 부분이 중복되도록 성막되며, 상기 절연성 기판의 반대쪽 측면에 접하는 영역에 제2 외부전극 접속부를 갖는 제2 전극과,상기 제2 전극의 제2 외부전극 접속부를 제
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