[특허]초크랄스키 결정성장 로의 고속인상용 핫존 구조 결정방법

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[한국특허] 초크랄스키 결정성장 로의 고속인상용 핫존 구조 결정방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)	C30B-015/00
출원번호	10-2000-0007075 (2000-02-15)
공개번호	10-2001-0081470 (2001-08-29)
등록번호	10-0571570-0000 (2006-04-10)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020000007075
발명자 / 주소	왕종회 / 인천광역시동구송현동동부아파트동**호 오현정 / 대구광역시남구대명동***-
출원인 / 주소	주식회사 실트론 / 경북 구미시 임수동 ***번지
대리인 / 주소	유미특허법인; 송만호 (YOU ME Patent & Law Firm) 서울특별시 강남구 역삼동 *- 서림빌딩층(유미특허법인); 서울 강남구 역삼동 -* 서림빌딩**층(유미특허법인)
심사청구여부	있음 (2004-01-15)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	소멸

초록 ▼

본 발명은 초크랄스키 결정성장 로의 고속인상용 핫존 구조 결정방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 핫존 구조 결정방법은, 초크랄스키 결정성장 로 내의 핫존 구조 및 인상속도를 정하고, 정해진 핫존 구조 및 인상속도에 대해 결정성장 중의 열 전달 현상을 해석하는 전산모사를 수행하는 제 1 단계; 전산모사의 결과로부터 실리콘 용융액과 실리콘 잉곳의 계면 근처의 실리콘 잉곳 중심에서 축 방향 온도구배 Gc를 구한 후, V/Gc 값을 구하는 제 2 단계; 인상속도 V를 변화시키면서 제 1 단계 및 제 2 단계를 수행하여 V/Gc 값을 구한 다음, 인상속도 V에 대한 V/Gc 값의 그래프를 그리는 제 3 단계; 그래프에서 V/Gc 값이 0.2㎟/minㆍK인 위치에 해당하는 인상속도를 최대 인상속도로 정하는 제 4 단계; 및 핫존 구조를 변화시키고, 변화된 핫존 구조에 대해 제 1 단계부터 제 4 단계까지를 수행하여 변화된 핫존 구조에 대한 최대 인상속도를 구하고, 가장 큰 최대 인상속도를 가지는 핫존 구조를 고속 인상에 가장 적합한 핫존 구조로 선택하는 제 5 단계를 포함하여 이루어짐으로써, 실패비용이 감소하고 생산성이 향상되는 효과가 있다.

대표청구항 ▼

초크랄스키 결정성장 로 내의 핫존 구조 및 인상속도를 정하고, 상기 정해진 핫존 구조 및 인상속도에 대해 결정성장 중의 열 전달 현상을 해석하는 전산모사를 수행하는 제 1 단계;상기 전산모사의 결과로부터 실리콘 용융액과 실리콘 잉곳의 계면 근처의 실리콘 잉곳 중심에서 축 방향 온도구배 Gc를 구한 후, V/Gc 값을 구하는 제 2 단계; 상기 인상속도 V를 변화시키면서 상기 제 1 단계 및 제 2 단계를 수행하여 V/Gc 값을 구한 다음, 인상속도 V에 대한 V/Gc 값의 그래프를 그리는 제 3 단계;상기 그래프에서 V/Gc 값이 0.2㎟/minㆍK인 위치에 해당하는 인상속도를 최대 인상속도로 정하는 제 4 단계; 및핫존 구조를 변화시키고, 변화된 핫존 구조에 대해 상기 제 1 단계부터 상기 제 4 단계까지를 수행하여 상기 변화된 핫존 구조에 대한 최대 인상속도를 구하고, 가장 큰 최대 인상속도를 가지는 핫존 구조를 고속 인상에 가장 적합한 핫존 구조로 선택하는 제 5 단계를 포함하는 초크랄스키 결정성장 로의 고속인상용 핫존 구조 결정방법.

이 특허에 인용된 특허 (1)

[한국] 핫존로에서의 인상 속도프로파일을 조절하여 단결정 실리콘 잉곳 및 웨이퍼를 제조하는 방법, 그에 따라 제조된 잉곳 및 웨이퍼 | 박재근, 이곤섭, 조규철
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[한국] 단결정 실리콘 잉곳 제조 방법 | 오현정, 왕종회
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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