초록 ▼

본 발명은 전기적으로 부도체인 PPO(Poly Phenylene Oxide) 및 MPPO (Modified Poly Phenylene Oxide)등 폴리머 재료에 각종 원소의 이온을 조사하여 그 표면에 전기적 전도성과 기계적 경도 증가 등 물성이 향상되는 새로운 물질을 생성하는 방법과 이 기술을 산업적으로 적용할 수 있도록 한 양산 장치에 관한 것으로 더욱 상세하게는 수십 mA 이상의 대전류 이온을 발생시키는 이온원에서 50 - 100 keV 정도의 비교적 낮은 에너지로 가속된 이온들을 전기적 부도체인 PPO 및 MPPO 등 폴리

본 발명은 전기적으로 부도체인 PPO(Poly Phenylene Oxide) 및 MPPO (Modified Poly Phenylene Oxide)등 폴리머 재료에 각종 원소의 이온을 조사하여 그 표면에 전기적 전도성과 기계적 경도 증가 등 물성이 향상되는 새로운 물질을 생성하는 방법과 이 기술을 산업적으로 적용할 수 있도록 한 양산 장치에 관한 것으로 더욱 상세하게는 수십 mA 이상의 대전류 이온을 발생시키는 이온원에서 50 - 100 keV 정도의 비교적 낮은 에너지로 가속된 이온들을 전기적 부도체인 PPO 및 MPPO 등 폴리머 재료에 창출된 장치를 이용, 진공 조사하여 표면 전기 저항을 에 이르는 광범위한 영역의 표면 전기 전도도를 갖도록 하는 방법과 정밀히 제어하는 방법, 넓은 면적에 균일하고 안정된 전도성을 생성하는 방법, 표면 경도 향상 등 기계적 물성을 개질하는 표면처리 방법과 이를 상업적으로 실현할 수 있는 양산용 이온빔 조사장치에 관한 것으로 불활성 기체(질소,산소,알곤,제논,헬륨 등)인 이온을 약 50-100keV 영역의 에너지로 가속된 이온들을 진공,조사하여 폴리머(PPO,MPPO 등)의 표면 1μm 정도의 물성 변화를 유도하여 처리하는 것을 특징으로 하는 낮은 에너지 이온빔조사에 의한 폴리머 표면의 전기 전도성 및 기계적 물성향상방법과 그 장치에 관한 것이다.

대표청구항

불활성 기체(질소,산소,알곤,제논,헬륨 등)인 이온을 약 50-100keV 영역의 에너지로 가속된 이온들을 진공,조사하여 폴리머(PPO,MPPO 등)의 표면 1??m 정도의 물성 변화를 유도하여 처리하는 것을 특징으로 하는 낮은 에너지 이온빔조사에 의한 폴리머 표면의 전기 전도성 및 기계적 물성향상방법.

불활성 기체(질소,산소,알곤,제논,헬륨 등)인 이온을 약 50-100keV 영역의 에너지로 가속된 이온들을 진공,조사하여 폴리머(PPO,MPPO 등)의 표면 1??m 정도의 물성 변화를 유도하여 처리하는 것을 특징으로 하는 낮은 에너지 이온빔조사에 의한 폴리머 표면의 전기 전도성 및 기계적 물성향상방법.