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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2000-0038863 (2000-07-07) |
공개번호 | 10-2001-0029905 (2001-04-16) |
등록번호 | 10-0798648-0000 (2008-01-22) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020000038863 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2005-05-27) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
주성분 분석법을 사용하는 공정 감시방법 및 장치가 제공된다. 감시될 공정(제조공정)에 대해 보정 특성이 측정된다. 그후 주성분 분석이 측정된 보정특성에 대해 측정되어 적어도 하나의 생성물 주성분을 발생시킨다. 적어도 하나의 생성물 주성분은 교정공정과 관련된 주성분(교정 주성분)과 비교된다. 상기 교정 주성분은 교정공정의 교정특성을 측정하고 적어도 하나의 주성분을 발생시키도록 측정된 교정특성에 대해 주성분 분석을 수행함으로써 얻어진다. 소정의 공정상황, 공정 이벤트 및 챔버 상황 중 적어도 하나를 나타내는 특징을 갖는 주성분
제조공정을 감시하는 방법으로서,제조공정의 교정 특성을 측정하는 단계와,하나 이상의 생성물 주성분을 생성하도록 측정된 교정 특성에 대한 주성분 분석을 수행하는 단계, 및상기 하나 이상의 생성물 주성분을 상기 교정 주성분과 비교하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 제조공정의 감시방법.
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