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연합인증

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주성분 분석을 이용한 공정 감시 방법 및 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/66
출원번호 10-2000-0038863 (2000-07-07)
공개번호 10-2001-0029905 (2001-04-16)
등록번호 10-0798648-0000 (2008-01-22)
DOI http://doi.org/10.8080/1020000038863
발명자 / 주소
  • 바라서브람하냐,라리싸 / 미국*****캘리포니아산타클라라몬로스트리트#*******
  • 사르파티,모쉐 / 미국*****캘리포니아쿠퍼티노파크우드드라이브#******
  • 데이비도우,제드 / 미국*****캘리포니아산타클라라클라마쓰애브뉴#*****
  • 라임버로포울로스,디미트리스피. / 미국*****캘리포니아산타클라라오크그로브드라이브#******
출원인 / 주소
  • 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 / 미국 ***** 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애브뉴 ****
대리인 / 주소
  • 남상선 (NAM, Sang Sun)
  • 서울시 중구 서소문동 **-*,대한항공빌딩 *층(남앤드남국제특허법률사무소)
심사청구여부 있음 (2005-05-27)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록 ▼

주성분 분석법을 사용하는 공정 감시방법 및 장치가 제공된다. 감시될 공정(제조공정)에 대해 보정 특성이 측정된다. 그후 주성분 분석이 측정된 보정특성에 대해 측정되어 적어도 하나의 생성물 주성분을 발생시킨다. 적어도 하나의 생성물 주성분은 교정공정과 관련된 주성분(교정 주성분)과 비교된다. 상기 교정 주성분은 교정공정의 교정특성을 측정하고 적어도 하나의 주성분을 발생시키도록 측정된 교정특성에 대해 주성분 분석을 수행함으로써 얻어진다. 소정의 공정상황, 공정 이벤트 및 챔버 상황 중 적어도 하나를 나타내는 특징을 갖는 주성분

대표청구항

제조공정을 감시하는 방법으로서,제조공정의 교정 특성을 측정하는 단계와,하나 이상의 생성물 주성분을 생성하도록 측정된 교정 특성에 대한 주성분 분석을 수행하는 단계, 및상기 하나 이상의 생성물 주성분을 상기 교정 주성분과 비교하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 제조공정의 감시방법.

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. [한국] 웨이퍼 이송모듈 및 이를 이용한 웨이퍼 진단방법 | 권기청, 변홍식
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