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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2000-0085506 (2000-12-29) |
공개번호 | 10-2002-0056193 (2002-07-10) |
등록번호 | 10-0398042-0000 (2003-09-01) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020000085506 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2000-12-29) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 단결정 실리콘 증착 장치 및 이 장치의 석영 튜브 클리닝 방법에 관한 것으로, 튜브 타입 극저압 화학 기상 증착((Tube type Ultra high vacuum chemical vapor deposition, UHV-CVD)법으로 단결정 실리콘을 증착하는 장치에서 석영 튜브 클리닝(Quartz tube cleaning)을 인-시튜 HCl 클리닝(in-situ HCL cleaning) 방법으로 할 수 있도록 구성하므로, 공정 생산성과 장비 관리 측면을 극대화시킬 수 있는 튜브 타입 UHV-CVD 단결정 실리콘 증착 장치
다수의 웨이퍼에 단결정 실리콘을 동시에 증착시킬 수 있는 석영 튜브와,상기 웨이퍼를 상기 석영 튜브에 로딩시키는 엘리베이팅 시스템과,상기 엘리베이팅 시스템에 설치되고, 단결정 실리콘 증착 공정 후에 상기 엘리베이팅 시스템에 의해 상기 석영 튜브 내로 로딩되고, 인-시튜 HCl 클리닝 방법에 의해 상기 석영 튜브를 클리닝하고, 엘리베이팅 시스템에 의해 상기 석영 튜브 밖으로 언로딩되는 튜브 클리너와,고주파 가열기에 의해 상기 석영 튜브를 가열는 리엑터 챔버와,상기 리엑터 챔버에 수직된 위치에 설치된 터보-모레큘러 펌프와,상기 터보-모
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